专利名称：一种设定晶圆针测针压的自动设定系统专利类型：发明专利发明人：沈顺金
申请号：CN201510697357.4申请日：20151022公开号：CN106558511A公开日：20170405
摘要：本发明公开了一种设定晶圆针测针压的自动设定系统，包括控制主机、测试机通讯连接装置、测试机头、测试机与探针卡连接装置、探针卡基板、探针、晶圆、针测机、针测机通讯连接装置；控制主机通过测试机通讯连接装置与测试机头相连，探针卡在探针卡基板上并通过测试机与探针卡连接装置与测试机头相连，针测机通过针测机通讯连接装置与控制主机相连，针测机承载晶圆托盘固定在针测机承载晶圆基座上，晶圆放置在针测机承载晶圆托盘。本发明自动设定系统，可以自动设定晶圆针测针压，可以轻松找到晶圆的最佳针测针压，避免了设定人员的主观判断的差异，通过一次按钮代替检测针痕，既精确又节省时间。
申请人：安徽超元半导体有限公司
地址：247100 安徽省池州市经济技术开发区电子信息产业园17号厂房
国籍：CN
代理机构：上海集信知识产权代理有限公司
代理人：任永武
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