专利内容由知识产权出版社提供
专利名称:一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置专利类型:发明专利发明人:施承启,胡如权申请号:CN2008100337.5申请日:20080422公开号:CN101311335A公开日:20081126
摘要:本发明系涉及直拉硅单晶生长炉中热系统的一种快速拆装的装置。一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置,包括下炉筒(14)及下石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的下保温层(13),中炉筒(10)及中石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的中保温层(6),在中炉筒(10)的下边缘向炉内设置至少三块水平托板(12),托板(12)支托一圆环状托盘(11),托盘(11)界于下炉筒(14)内部的下保温层(13)和中炉筒(10)内部的中保温层(6)之间。本发明提供了一种直拉晶体生长炉内热系统快速拆装的装置和方法,改变了国内外现有技术方案,大大提高了单晶炉生产效率和降低了操作者的工作强度,具有很显著的经济效益和突出的技术先进性。
申请人:上海卡姆丹克太阳能科技有限公司
地址:201314 上海市南汇区南汇工业园区园迪路16号
国籍:CN
代理机构:上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人:张美娟
更多信息请下载全文后查看