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专利名称：一种蓝宝石表面检测仪主体结构专利类型：实用新型专利
发明人：胡荣杰,唐旭,刘浦锋,宋洪伟,陈猛申请号：CN201420451657.5申请日：20140812公开号：CN204142202U公开日：20150204
摘要：本实用新型公开了一种蓝宝石衬底晶片的表面检测仪主体结构，包括由下台面(5)和立柱(10)构成的支架；所述立柱(10)上设置有光学头(12)；所述光学头(12)的下方设置有测量盘(1)；所述下台面(5)设置有滑轨(4)，所述滑轨(4)上设置有滑块(3)，所述滑块(3)上设置有轴承座(2)，所述轴承座(2)上设置有轴承(9)；所述轴承(9)与测量盘(1)的中心固定连接。
申请人：上海超硅半导体有限公司
地址：201617 上海市松江区石湖荡镇闵塔路808号3号厂房
国籍：CN
代理机构：杭州中成专利事务所有限公司
代理人：金祺
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