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专利名称：光学式侦测方法、光学式微机电侦测计及其制法专利类型：发明专利
发明人：王传蔚,徐新惠,吕志宏申请号：CN201510876351.3申请日：20091201公开号：CN105388322A公开日：20160309
摘要：本发明涉及一种光学式侦测方法、光学式微机电侦测计及其制法，该光学式微机电侦测计，包含：一个基板；在该基板一区域内的至少一个光电二极管；位在该基板上方的隔离壁，包围该光电二极管区域；以及在该光电二极管上方的至少一个动件，该至少一个动件具有开孔可容许光线穿越到达光电二极管，其中于该至少一个动件移动时，改变穿越该开孔到达光电二极管的光量。
申请人：原相科技股份有限公司
地址：中国新竹
国籍：CN
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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