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专利名称：一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法专利类型：发明专利发明人：王峰
申请号：CN201810463343.X申请日：20180515公开号：CN1085374A公开日：20180914
摘要：本发明公开了一种纳米级图形化蓝宝石衬底的制备方法，包括：（1）通过物理气相沉积（PVD）的方法在平面蓝宝石衬底表面沉积一铝薄膜；（2）利用铝的有孔阳极氧化工艺将铝薄膜阳极氧化成多孔结构，所述多孔结构贯穿整个铝薄膜，所述铝薄膜被阳极氧化后形成多孔氧化铝薄膜，与平面蓝宝石衬底基体材质相同，多孔氧化铝薄膜能够更好的与基体材料性质匹配，从而使多孔氧化铝薄膜与平面蓝宝石衬底复合形成纳米级图形化蓝宝石衬底。无需用传统掩膜方式制作，工序简单，生产效率高，工艺成本低。可广泛应用于高性能氮化物器件的研发和生产。
申请人：苏州瑞而美光电科技有限公司
地址：215221 江苏省苏州市吴江区平望镇唐家湖大道18号商务中心大楼六楼608室
国籍：CN
代理机构：苏州创元专利商标事务所有限公司
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