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专利名称：集成方式的RF MEMS开关专利类型：发明专利发明人：万江文,周玉娇申请号：CN200510074845.6申请日：20050607公开号：CN17192A公开日：20060104
摘要：一种基于微机电系统技术的射频开关，包含微机械(MEMS)部分和射频(RF)部分，实现开关功能的可移动开关结构设置在MEMS衬底上，采用MEMS部分和RF部分加工再将MEMS衬底与RF衬底对准键合在一起的方式。开关包含多个可移动电极，具有上拉和下拉两种驱动状态。根据本发明的技术方案，开关的切换速度快、驱动电压低、稳定性好。采用加工再键合的方式，降低了工艺的复杂度，同时可抵抗外界污染物。
申请人：北京邮电大学
地址：100876 北京市海淀区西土城路10号
国籍：CN
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