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专利名称：一种基于MEMS开关的开关阵列专利类型：发明专利发明人：苑京立,李慧娟,孙建申请号：CN201010623821.2申请日：20101231公开号：CN102074422A公开日：20110525
摘要：本发明提出了一种基于MEMS开关的开关阵列，开关阵列包括基底和多个MEMS开关，基底上沿水平方向有一层或多层布线层，沿垂直方向有多个孔，填有导电材料，这些孔分别连接到不同的布线层；MEMS开关分布在基底上，在水平与垂直方向形成矩阵，矩阵的每行中各个开关的输入端分别通过连接到同一个布线层的孔，在该布线层中连接在一起；矩阵的每列中各个开关的输出端分别通过连接到同一个布线层的孔，在该布线层中连接在一起；每个开关的一个控制端均分别通过连接到同一个布线层的孔在该布线层中与地线连接在一起。本发明开关阵列可先组成开关阵列，之后再进行整体封装，这样就使得整体开关阵列的体积大大减小，适用性更加广泛。
申请人：航天时代电子技术股份有限公司
地址：100094 北京市海淀区永丰路航天电子公司
国籍：CN
代理机构：中国航天科技专利中心
代理人：安丽
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