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专利名称：激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法专利类型：发明专利
发明人：宋春峰,徐文,孙杰,林圆圆申请号：CN201810713028.8申请日：20180629公开号：CN110722270A公开日：20200124
摘要：本发明实施例公开了一种激光传输系统、激光切割装置和激光切割方法。该激光传输系统包括激光发生模块、激光调制模块以及多个激光传输模块；激光发生模块、激光调制模块和激光传输模块沿激光传输方向依次设置；激光发生模块，用于产生初始光束；激光传输模块用于将切割光束传输至待切割工件上，不同激光传输模块用于传输的切割光束的参数不同；激光调制模块，用于根据待切割工件的工艺参数，将初始光束调制为切割光束，并根据待切割工件的工艺参数和/或切割光束的参数，选择对应的激光传输模块，以建立与切割光束相适应的传输通路。本发明提供的激光传输系统可以提高多层切割的切割效率。
申请人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：孟金喆
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