专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块专利类型：发明专利
发明人：宫尾秀一,冈田淳一,祢津茂义申请号：CN201910783086.2申请日：20150527公开号：CN110482555A公开日：20191122
摘要：本发明涉及多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块。通过西门子法合成硅多晶棒(S101)。在反应器内从硅多晶棒的上部覆盖清洗了内表面的塑料制袋而将硅多晶棒收容后(S103)，将硅多晶棒取出到反应器外(S104)，进行热封而在密闭化的状态下保管(S105)。根据本发明，不一定需要清洗、蚀刻、水洗这样的以往被认为必需的工序，因此，能够使残留在表面的氟离子、根离子、亚根离子均低于0.2ppbw。另外，通过覆盖塑料制袋，金属污染水平显著地降低。而且，如果进行本发明的操作，则即使长期保管，表面污染也几乎不会加重。
申请人：信越化学工业株式会社
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
更多信息请下载全文后查看